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產品與服務
Products and Services
ZQ-HM系列
ZQ-HM系列高流量超純氫氣純化器針對電解水制氫和瓶裝粗氫等多種來源的含氫原料氣,實現全自動化超純氫制備,能夠充分發揮膜純化方式的經濟、高效和穩定等優勢,性能達到國際領先水平
適用領域:第三代半導體、光伏等領域。
高純度
高安全
自動化
流量監測
· 采用膜分離技術
· 氫氣純度可達>99.9999999%
· 露點<-100°C。
· 具有多種報警功能(超壓報警氫氣泄露報警、純度低、報警等)
· 超溫斷電
· 報警歷史記錄
· 一鍵啟停,無需人值守
· 氫氣輸出流量、壓力可調
· 隨時可增加并聯機器
· 一體化運輸,易安裝
· 自動監測壓力、流量
· 實現數據自動記錄與存儲
產品參數
型號
ZQ-HM-5ZQ-HM-10ZQ-HM-30ZQ-HM-60ZQ-HM-100
ZQ-HM-XX(定制)

額定產氫量(L/min

5103060100
>100

產品氫壓力(MPaG

0.1-20.1-20.1-20.1-20.1-20.1-2

原料氫純度(Vol%

≥99≥99≥99≥99≥99≥99

產品氫純度(Vol%

>9N>9N>9N>9N>9N>9N
使用壽命(h)
>40000>40000>40000>40000

尺寸長x寬x高(mm)

1100x950x1900

1350x1000x1900
1700x1300x1900/
重量(kg)260280
340/
運行能耗(kWh)
1.5
2.65.510.0
18.0/
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