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產品與服務
Products and Services
ZQ-HPE系列
核心產品:半導體領域的氫氣純化設備—9N級超純。
采用自主研發的金屬膜材料,開發了9N級超純氫氣純化設備,匹配CVD制備GaAs、InP、GaN、SiC基半導體,具有9N級超純、高穩定、長壽命、易維護等優勢。
對標意大利SAES、日本JPC、英國Johnson Matthey等鈀膜氫氣純化設備,國產替代進口,填補空白,解決高端半導體制備的卡脖子難題。
20-120 Nm3/h系列化標準設備。
產品參數
型號ZQ-HPE-20ZQ-HPE-30ZQ-HPE-60ZQ-HPE-120
產品氫流量(Nm3/h)0-200-300-600-120
產品氫壓力(MPaG)0.1-10.1-10.1-10.1-1
產品氫溫度(℃)<60<60<60<60
產品氫純度(Vol%)≥9N≥9N≥9N≥9N
露點溫度(℃)<-100<-100<-100<-100
使用壽命(年)純化單元使用壽命>5年,設備使用壽命>10年
冷態啟動時間(h)<1
氣源品質氣源品質(2N-3N)需根據具體成分分質處理;氣源品質(≥5N)可直接接入
長 × 寬 × 高(mm)1800×800×20003000×800×2000
備注表中僅列出標準型號,更多需求請與中氫新能源聯系
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